倒片机设备参数

 1：设备外观尺寸：:620mm（长）*450mm(宽）*750MM（高）

 2：设备能耗要求：220V   0.5kw

 3：设备特点：:自动化程度高，效率更为突显，降低人工损耗风险；

                             适用于5-6寸SI SIC片及石英舟，碳化硅舟倒片；

                             可选择25片倒25片 ，25+25倒50片；

                             可用于特殊需求背靠背模式放片的倒片

   4：配置可选配项目：等离子棒（配置/不配置）

                             测温探头（防止出货温度过高烫伤晶圆梳）