炉体

特殊炉体，立式炉炉体，卧式炉炉体

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倒片机

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8英寸化合物立式常压设备

适用常压工艺：OX、Drive in、Anneal(N2/NH)、Alloy (NH)、PIQ、增密、烧碳膜、制碳膜等

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6英寸氧化/扩散/退火卧式扩散炉（水平炉）

适用常压工艺：OX、Drive in、Anneal(N2/NH)、Alloy (NH)、POCL3、磷预扩、磷再扩、硼预扩、硼再扩、PIQ等。

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