导片机

适用于SI或者SIC片25片倒25片，25+25倒50片或者背靠背模式倒片

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6英寸化合物立式LPCVD设备

适用LPCVD工艺: TEOS、POLY、DPOLY、Nitride、HTO等

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SHUG-20超纯离子净化装置

超纯离子净化装置采用在直流电场的作用下，通过隔板的水中电介质离子发生定向移动，利用交换膜对离子的选择透过作用来对水质进行提纯，是一种优异的水处理技术，可以将经过反渗透处理（RO水）、纯水机制备的不合格的UP水（离子含量超标），进行进一步纯化处理，达到IC用水的要求。也可将纯水机制备的UP水进行进一步纯化，满足半导体、核电、火电领域对于超痕量离子的检测要求。

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6英寸立式氧化/扩散/退火设备

适用常压工艺：OX、Drive in、POCL3、Anneal(N2/NH)、Alloy (NH)、PIQ等

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2017年1月1日公司千级净化车间正式投入使用

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10

2015

五段扩散炉控温系统

产品介绍

关于赛尔

新闻中心

售后服务

时总：18866268611 李经理：18006420858

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