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LPCVD

CIC-D160型离子色谱仪是一款电路技术升级的高稳定性离子色谱仪，配置双极电导检测器，极大的提高了仪器的检测性能和稳定性，带来极致的用户体验。CIC-D160离子色谱仪内置淋洗液发生器，通入纯水即可在线生成所需浓度的淋洗液，可实现梯度洗脱，实现等度洗脱无法完成的复杂样品检测。仪器搭载盛瀚自主研发的天文台智能工作站，不仅可实现对仪器各功能部件的智能控制，还具有强大的数据处理功能，结合盛瀚先进的色谱柱技术，可实现对常规阴阳离子、碘离子、小分子有机酸等的检测，普遍适用于环境、食品、化工、电力、电子、矿冶等领域。

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8英寸立式LPCVD设备

适用LPCVD工艺: TEOS、POLY、DPOLY、Nitride、HTO等

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6英寸化合物立式常压设备

适用工艺：OX、Drive in、Anneal(N2/NH)、Alloy (NH)、PIQ、增密、烧碳膜、制碳膜等

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6英寸立式LPCVD设备

适用LPCVD工艺: TEOS、POLY、DPOLY、Nitride、HTO等

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6英寸立式LPCVD设备

适用LPCVD工艺: TEOS、POLY、DPOLY、Nitride、HTO等

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