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8英寸化合物立式LPCVD设备

适用LPCVD工艺: TEOS、POLY、DPOLY、Nitride、HTO等

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离子色谱仪CIC-D180

CIC-D180是盛瀚新一代智能化离子色谱仪，LAN接口与以太网联接，EX1600 领先的微电脑技术，无需中央控制器即可实现仪器的远程控制和信息资源共享，在线技术指导、一键智能维护、运行状态实时监控…让仪器持久耐用，工作轻松高效！

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8英寸立式常压设备

适用常压工艺：OX、Drive in、Anneal(N2/NH)、Alloy (NH)、PIQ、BPSG回流等

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6英寸氧化/扩散/退火卧式扩散炉（水平炉）

适用常压工艺：OX、Drive in、Anneal(N2/NH)、Alloy (NH)、POCL3、磷预扩、磷再扩、硼预扩、硼再扩、PIQ等。

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