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青岛赛尔深耕该领域 16 年，在核心性能、安全合规、稳定可靠三大维度形成核心优势，为晶圆制造提供高效精准的国产化装备方案。
在低气压环境下通过化学反应在硅片表面沉积氮化硅（Si₃N₄）薄膜的技术，此技术旨在提升薄膜均匀性、致密度和台阶覆盖能力。
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