8英寸常压立式退火炉管（铜退火工艺）
常压铜退火多用于TSV 硅通孔、Cu 凸点、先进封装电镀铜薄膜，在常压、保护气氛（高纯 N₂或 N₂‑H₂成型气）下对电镀铜做批次热处理；以固态冶金物理变化为主，无大规模化学反应；控制温区，防止铜扩散穿透 Ta/TaN 阻挡层造成器件漏电。
青岛赛尔深耕该领域 16 年，在核心性能、安全合规、稳定可靠三大维度形成核心优势，为晶圆制造提供高效精准的国产化装备方案。
常压铜退火多用于TSV 硅通孔、Cu 凸点、先进封装电镀铜薄膜，在常压、保护气氛（高纯 N₂或 N₂‑H₂成型气）下对电镀铜做批次热处理；以固态冶金物理变化为主，无大规模化学反应；控制温区，防止铜扩散穿透 Ta/TaN 阻挡层造成器件漏电。
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