产品特点：
◆主机为水平一至四管炉系统构架，能独立完成不同的工艺或相同工艺
◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、阀门等动作进行全自动控制
◆采用悬臂式送片：操作方便、无摩擦污染等
◆关键部件采用进口器件，确保设备的高可靠性
◆工艺管路采用进口阀门管件组成-气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管路），气体流量采用质量流量计（MFC）控制
◆控温精度高，温区控温稳定性好；
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命

扩散炉主要技术指标
1、工艺说明
1.1工艺：氧化、扩散、合金、退火等工艺
1.2氧化：干氧工艺和湿氧工艺（去离子水、氢氧合成-内/外点火）
1.3扩散：硼扩、磷扩（液态源、固态源等）

2、系统组成：主机（炉体、石英/SiC管、功率组件等)、自动送片（悬臂式、推拉式）净化工作台、气路气源系统（气源柜）、计算机控系统等组成

3、送片方式：手动送片/自动送片

4、扩散炉配置（可选）：
4.1仪表控制/计算机/触摸屏控制
4.2工艺管（水平结构）：1-4管
4.3工艺规格：2~8英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片
4.4恒温区长度：1100mm-200mm
4.5晶圆装载：悬臂式（刚玉/碳化硅杆、碳化硅桨） 推拉式（石英舟车）
4.6工作台：有净化/无净化
4.7工艺气路： 气路管道为EP级电抛光，气路阀门组件采用国际优质品牌产品 （如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等），MFC国际优质（如MKS、UNIT、STEC等）或国产优质

5、扩散炉主要技术参数：
5.1工作温度：200～1300℃
5.2炉体控制点：3/5点
5.3炉体恒温区：1100mm-200mm
5.4恒温区精度：＞800℃/±0.5℃ ，＜800℃/±1℃
5.5单点温度稳定性：600～1300℃/ ±0.5℃/24h
5.6最大可控升温速度：15℃/min
5.7最大降温速度：5℃/min（900～1300℃）
5.8供电：三相五线，380VAC/50HZ