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SHARE2008扩散炉控制系统,质优价廉,可与国外大公司的产品相媲美,其控制精度及质量完全取代进口产品,可直接用于THERMCO(如:TMX9000)TEMPRESSBTUASMTEL等公司生产的4″、5″、6″扩散炉自动控制系统的改造。

SHARE2008扩散炉控制系统是青岛赛尔微电子有限公司推出的全自动扩散炉控制系统,主要用于卧式扩散炉的高精度全自动控制。 系统由一个上位机和四个管机组成。工控机安装WINDOWS XP操作系统和DiffusionAutoMgr半导体扩散炉专业控制软件,实现工艺编写,数据管理、曲线记录,事件记录,实时监控等高级功能;每个炉管分别由完全独立的管机控制,相互之间保持独立,互不影响。




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