常压氧化炉

Products 产品介绍

青岛赛尔深耕该领域 16 年，在核心性能、安全合规、稳定可靠三大维度形成核心优势，为晶圆制造提供高效精准的国产化装备方案。

适用工艺：SI基：O X (干氧，湿氧）、Diffusion（磷/硼预扩）、Drive In（推结）、Anneal SIC基: Anneal （氮气退火）、Alloy（NH合金）、POCL3等。（NH退火），制碳膜，烧碳膜，PI 烘烤固化工艺等。

Product Introduction

产品介绍

NO	常压立式炉管主要参数指标
1	最高温度	1200℃
2	控温精度	±0.5℃
3	升温速率	15℃/min
4	降温速率	3-10℃/min
5	颗粒	6寸0.3μm≤30颗/6&8兼容、8寸0.2μm≤30颗
6	U 值 W I W	≤1.5%
7	U 值 W T W	≤1.5%
8	U 值 R T R	≤1.5%
9	金属沾污	增加不超过W5.0E+10 ATOMS/CM2(NA、CA、MG、CR、FE、NI、MN、CU、K、Al)
10	晶圆传送手指	5根陶瓷手指/1根手指
11	手指间距	可自动调节
12	控压模式	/(仅部分工艺使用)
13	设备电源	加热：380V三相3火线+1地线40KW控制：220V单相1火线+1地线5KW
14	加热段数	5段
15	炉体	高温炉体
16	WAFER BREAKAGE	<1/10000
17	UP TIME	≥95%
18	MTBF	>1000HR
19	MTTR	<8HR
20	传片测试	1500片次循环跑片测试无异常
21	SECS/GEM标准接口	有
22	设备尺寸	A型：30909002870 B型：33709002870 C型：390010003170
23	做片量	50~150片
24	型号	支持定制