8英寸化合物立式常压设备

适用常压工艺：OX、Drive in、Anneal(N2/NH)、Alloy (NH)、PIQ、增密、烧碳膜、制碳膜等

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SHUG-20超纯离子净化装置

超纯离子净化装置采用在直流电场的作用下，通过隔板的水中电介质离子发生定向移动，利用交换膜对离子的选择透过作用来对水质进行提纯，是一种优异的水处理技术，可以将经过反渗透处理（RO水）、纯水机制备的不合格的UP水（离子含量超标），进行进一步纯化处理，达到IC用水的要求。 也可将纯水机制备的UP水进行进一步纯化，满足半导体、核电、火电领域对于超痕量离子的检测要求。

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倒片机

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法兰 冷阱

立式炉法兰、冷阱

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