导片机

适用于SI或者SIC片25片倒25片，25+25倒50片或者背靠背模式倒片

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法兰冷阱

立式炉法兰、冷阱

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常压氧化炉

适用工艺：SI基：O X (干氧，湿氧）、Diffusion（磷/硼预扩）、Drive In（推结）、Anneal SIC基: Anneal （氮气退火）、Alloy（NH合金）、POCL3等。（NH退火），制碳膜，烧碳膜，PI 烘烤固化工艺等。

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8英寸化合物立式常压设备

适用常压工艺：OX、Drive in、Anneal(N2/NH)、Alloy (NH)、PIQ、增密、烧碳膜、制碳膜等

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02

2018

公司将参加2018年SEMICON China展会

Feb

05

2017

公司将参加2017年SEMICON China展会

产品介绍

关于赛尔

新闻中心

售后服务

时总：18866268611 李经理：18006420858

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